Kovový rotační terč
Mezi naprašovací elektrodou (katodou) a anodou jsou aplikována ortogonální magnetická a elektrická pole.A naplňte požadovaný inertní plyn (obvykle plyn Ar) do komory s vysokým vakuem.Působením elektrického pole se plyn Ar ionizuje na kladné ionty a elektrony.Na terč je přivedeno určité záporné vysoké napětí, elektrony emitované terčem jsou ovlivněny magnetickým polem, zvyšuje se pravděpodobnost ionizace pracovního plynu, v blízkosti katody se tvoří plazma o vysoké hustotě a jsou ovlivněny ionty Ar Lorentzovou silou.Poté zrychlete, abyste letěli k povrchu cíle, a bombardujte povrch cíle vysokou rychlostí, takže rozprášené atomy na cíli se řídí principem přeměny hybnosti, létají z povrchu cíle na substrát a ukládají film s vysokou kinetickou energií.
Aby se dále zlepšila míra využití materiálu elektrody, je navržena rotační katoda s vyšší účinností využití a pro naprašování se používá trubicový materiál elektrody.Zlepšení naprašovacího zařízení vyžaduje změnu terče z plochého tvaru na trubkový a míra využití trubkového rotačního terče může být až 70 %, což do značné míry řeší problém nízkého využití plochého terče.
Název produktů | Kovový otočný terč |
Materiál | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Horká výprodejová velikost | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Lze zpracovat i dle specifických požadavků zákazníků |
MOQ | 3 kusy |
Balík | Překližkové dřevěné pouzdro |
aplikace
Naprašování je nový typ fyzikální metody nanášení parou.Ve srovnání s metodou odpařování má zjevné výhody
v mnoha ohledech.Kovové naprašovací terče se používají v mnoha oblastech.Hlavní aplikace rotačního terče.
■Solární články
■Architektonické sklo
■Auto sklo
■Polovodič
■TV s plochou obrazovkou atd
Informace o objednávce
Dotazy a objednávky by měly obsahovat následující informace:
☑Specifikace cíle ID×OD×L (mm).
☑Požadované množství.
☑Pro další speciální potřeby nás prosím kontaktujte.