Jak funguje magnetronové naprašování?
Magnetronové naprašování je metoda fyzikálního napařování (PVD), třída procesů vakuového nanášení pro výrobu tenkých filmů a povlaků.
Název „magnetronové naprašování“ pochází z použití magnetických polí k řízení chování nabitých iontových částic v procesu nanášení magnetronovým naprašováním.Proces vyžaduje komoru s vysokým vakuem pro vytvoření nízkotlakého prostředí pro rozprašování.Plyn, který obsahuje plazmu, typicky plynný argon, vstupuje do komory jako první.
Mezi katodou a anodou je aplikováno vysoké záporné napětí, aby se iniciovala ionizace inertního plynu.Pozitivní ionty argonu z plazmy se srazí se záporně nabitým materiálem terče.Každá srážka vysokoenergetických částic může způsobit, že se atomy z povrchu cíle vymrští do vakuového prostředí a vyletí na povrch substrátu.
Silné magnetické pole vytváří vysokou hustotu plazmatu tím, že omezuje elektrony v blízkosti cílového povrchu, zvyšuje rychlost ukládání a zabraňuje poškození substrátu bombardováním ionty.Většina materiálů může působit jako cíl pro proces naprašování, protože systém magnetronového naprašování nevyžaduje tavení nebo odpařování výchozího materiálu.
Parametry produktu
Název produktů | Terč z čistého titanu |
Školní známka | Gr1 |
Čistota | Více 99,7 % |
Hustota | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 kusů |
Horká výprodejová velikost | Φ95*40 mm Φ98 * 45 mm Φ100*40mm Φ128 * 45 mm |
aplikace | Povlak pro PVD stroj |
Velikost skladu | Φ98 * 45 mm Φ100*40mm |
Další dostupné cíle | molybden (Mo) Chrome (Cr) TiAl měď (Cu) zirkonium (Zr) |
aplikace
■Povlakování integrovaných obvodů.
■Povrchové panelové displeje plochých panelů a dalších komponent.
■Dekorace a potah skla atd.
Jaké produkty umíme vyrobit
■Vysoce čistý titanový plochý terč (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Standardní závitové připojení pro snadnou instalaci (M90, M80)
■Nezávislá výroba, dostupná cena (kontrolovatelná kvalita)
Informace o objednávce
Dotazy a objednávky by měly obsahovat následující informace:
■ Průměr, výška (například Φ100 * 40 mm).
■ Velikost závitu (např. M90*2mm).
■ Množství.
■ Požadavek na čistotu.